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超詳細(xì)！半導(dǎo)體測(cè)試分選機(jī)的工作原理
2023-12-11 10:13
隨著科技的飛速發(fā)展，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)已經(jīng)滲透到我們生活的方方面面。半導(dǎo)體測(cè)試分選機(jī)作為半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中的重要設(shè)備，對(duì)于保證產(chǎn)品質(zhì)量和性能具有舉足輕重的作用。
流程概述
半導(dǎo)體測(cè)試分選機(jī)的主要工作流程包括三個(gè)步驟：測(cè)試、分選和收集。首先，待測(cè)半導(dǎo)體器件會(huì)通過(guò)測(cè)試接口與測(cè)試儀器連接，然后進(jìn)行電學(xué)特性、性能等測(cè)試。測(cè)試完成后，分選環(huán)節(jié)開始，機(jī)械手臂在傳感器的引導(dǎo)下精確移動(dòng)，將器件從測(cè)試位置移至分選位置。根據(jù)測(cè)試結(jié)果，分選機(jī)將器件分為合格品、不良品或故障品，并將其分別放置到相應(yīng)的收集區(qū)域。
工作原理
測(cè)試環(huán)節(jié)：測(cè)試環(huán)節(jié)主要通過(guò)測(cè)試儀器對(duì)半導(dǎo)體器件的電學(xué)特性、性能等進(jìn)行檢測(cè)。這些特性包括但不限于閾值電壓、漏電流、電容、電阻等。測(cè)試過(guò)程中，待測(cè)器件與測(cè)試儀器之間通過(guò)探針連接，探針與待測(cè)器件之間的接觸力需要精確控制，以確保測(cè)試結(jié)果的準(zhǔn)確性。
分選環(huán)節(jié)：分選環(huán)節(jié)主要通過(guò)機(jī)械手臂和傳感器來(lái)實(shí)現(xiàn)。傳感器的作用是識(shí)別和定位待測(cè)器件，機(jī)械手臂則在傳感器的引導(dǎo)下進(jìn)行精確的運(yùn)動(dòng)，將器件從測(cè)試位置移至分選位置。分選過(guò)程中，根據(jù)測(cè)試結(jié)果，機(jī)械手臂將器件分為合格品、不良品或故障品，并將其分別放置到相應(yīng)的收集區(qū)域。
技術(shù)關(guān)鍵點(diǎn)
半導(dǎo)體測(cè)試分選機(jī)的技術(shù)關(guān)鍵點(diǎn)主要包括高精度探針技術(shù)、高速高精度機(jī)械手臂運(yùn)動(dòng)控制技術(shù)、高靈敏度傳感器技術(shù)和高效的數(shù)據(jù)處理與傳輸技術(shù)。這些技術(shù)的運(yùn)用使得半導(dǎo)體測(cè)試分選機(jī)能夠在短時(shí)間內(nèi)完成大量器件的測(cè)試和分類，并保證結(jié)果的準(zhǔn)確性和可靠性。
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