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產(chǎn)品描述

1:更高精度---±10μm/±0.2°@3σ。

 

2:更智能---基島、膠點(diǎn)、固前、固后、晶片雙面自動檢測。

 

3:更高效率---UPH up to 3K/H。

 

4: Wafer---12"兼容8"。

 

5: Mapping---支持單bin及多bin, 自動記憶參考點(diǎn)、自動搜索起點(diǎn)。

 

|6: LF---寬度35 ~ 100mm、 長180~ 300mm、厚0.1-3.0mm。

 

7: 數(shù)據(jù)統(tǒng)計---生產(chǎn)信息、統(tǒng)計信息、CPK分析。

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